X射線熒光分析是確定物質中微量元素的種類和含量的一種方法，是利用原級X射線光子或其它微觀粒子激發待測物質中的原子，使之產生次級的特征X射線(X光熒光)而進行物質成分分析和化學態研究。

　　高性能X射線熒光分析儀基本原理：

　　當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線與原子發生碰撞時，驅逐一個內層電子而出現一個空穴，使整個原子體系處于不穩定的激發態，激發態原子壽命約為10-12-10-14s，然后自發地由能量高的狀態躍遷到能量低的狀態。這個過程稱為馳豫過程。馳豫過程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當較外層的電子躍遷到空穴時，所釋放的能量隨即在原子內部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子，此稱為俄歇效應，亦稱次級光電效應或效應，所逐出的次級光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無關。當較外層的電子躍入內層空穴所釋放的能量不在原子內被吸收，而是以輻射形式放出，便產生X射線熒光，其能量等于兩能級之間的能量差。因此，X射線熒光的能量或波長是特征性的，與元素有一一對應的關系。

　　高性能X射線熒光分析儀在日常使用中的注意事項：

　　1、高性能X射線熒光分析儀從根本上來說是一種相對測量儀器，因此在使用過程中，需要定期對儀器進行標定和校準。

　　2、為有害元素含量的控制效果，高性能X射線熒光分析儀的測量數據應與其他的測量手段結合起來使用；高性能X射線熒光分析儀更適合生產過程的監控，甚至可以說：在生產過程中對有害元素含量的監控，X射線熒光分析方法是目前可行的分析手段；而有害元素含量的終裁定，則不應該僅僅依靠單一的測量手段。

　　3、被測量樣品的處理與測量精度的關系：

　　從X射線熒光分析理論上說，對被測量樣品進行必要的處理是必須的；一般來說，樣品處理的越好，則測量精度就會越高，測量結果越可靠。在實際使用過程中，我們應該盡量對被測量樣品進行必要的物理處理。

　　在測量不規則的樣品時，雖然從X射線熒光分析方法上可以對測量進行技術上的校正，從而滿足實際測量的需要；但這樣做所付出的代價是犧牲測量精度和測量數據的可靠性。