光學(xué)輪廓儀對(duì)各種產(chǎn)品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析的精密儀器。

　　下面讓我們一起來(lái)了解一下光學(xué)輪廓儀的主要功能吧：

　　1、共聚焦

　　共聚焦技術(shù)可以用來(lái)測(cè)量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°(粗糙表面達(dá)86°)。共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

　　2、相位差干涉(PSI)

　　相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測(cè)量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場(chǎng)測(cè)量。

　　3、白光干涉(VSI)

　　白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率。

　　4、多焦面疊加

　　多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測(cè)量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來(lái)補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(大86°)。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

　　5、薄膜測(cè)量

　　用分光反射計(jì)可以完善地解決薄膜厚度測(cè)量。Sneox在增加了分光反射計(jì)后可以測(cè)量10nm的膜厚和多10層膜。由于是通過(guò)顯微鏡頭測(cè)量，小的測(cè)量點(diǎn)為5um。因?yàn)橄到y(tǒng)里有組合的LED光源，所以實(shí)時(shí)觀察和膜厚測(cè)量能同時(shí)進(jìn)行。