光學3d表面輪廓儀對材料表面的三維輪廓測量，粗糙度測量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數據分析，能直接測量較大面積的樣品，而不用通過拼接。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。CF4激光共聚焦傳感器內，被照亮的小孔成像在被測量的表面，激光光束經由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上，只有當焦平面和真實表面的點配對的時候，探測器才記錄到一個表面信號。因此物鏡得通過小的垂直步位移動，使信號通過位移傳感器的位置移動被測出。根據特殊的內插技術，該系統的精度能達到10nm以下。

　　光學3d表面輪廓儀可以輕易的傳輸并且設置在任意一個地方進行使用，特別為大體積樣品的測量而開發，例如，軋輥和車身。由于其便攜性，它非常適用于工廠的在線檢查，只需幾分鐘準備便可進行測量，并且可以方便地架設在測試對象上，因為它的重量很輕。根據不同測量要求可以編輯不同的應用方案。配有鼻輪和解決方案軟件的光學3d表面輪廓儀可滿足了各種各樣的測量任務。點、線、面三種測量模式，應對從簡單到復雜的測量任務。

　　出廠前已完成精度校準，無需在日常使用中進行校準操作，無需對樣品傾斜校正，存在較小傾斜角度仍能正常測量，受環境振動、光線、濕度和溫度等因素影響小，無需恒溫恒濕環境。

　　光學3d表面輪廓儀操作步驟：

　　1、將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態穩定；

　　2、將夾具放置在載物臺上；

　　3、檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；

　　4、使用操縱桿調節三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

　　5、完成掃描設置和命名等操作；

　　6、點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；

　　7、進入數據處理界面，點擊“去除外形”，采用默認參數，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

　　8、進入分析工具模塊，點擊參數分析，直接獲取面粗糙度數據，點擊右側參數標準可更換參數標準，增刪參數類型。