Filmetrics 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀
簡(jiǎn)要描述：Filmetrics 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測(cè)量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供快速的厚度測(cè)量，速度達(dá)到每秒兩點(diǎn)。
產(chǎn)品型號(hào)：F54-XYT-300- 廠商性質(zhì)：代理商
- 更新時(shí)間：2025-09-12
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Filmetrics 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀介紹：
Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測(cè)量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供快速的厚度測(cè)量，速度達(dá)到每秒兩點(diǎn)。
特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：
自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果；
可測(cè)樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量；
測(cè)繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn)，方便用戶從不同的角度檢視；
測(cè)量原理：
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射，由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
應(yīng)用與膜層范例：
顯示技術(shù) | 消費(fèi)電子 | 派瑞林 | |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識(shí)別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽(yáng)能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽(yáng)極膜 | 硅橡膠 |
常見(jiàn)工業(yè)應(yīng)用：
半導(dǎo)體制造 | LCD液晶顯示器 | 光學(xué)鍍層 | MEMS微機(jī)電系統(tǒng) |
光刻膠 | 聚酰亞胺 | 硬涂層 | 光刻膠 |
氧化物/氮化物/SOI | ITO透明導(dǎo)電膜 | 抗反射涂層 | 硅系膜層 |
晶圓背面研磨 |
產(chǎn)品參數(shù)：
波長(zhǎng)范圍： | 190nm-1700nm | 光源： | 鎢鹵素?zé)簟㈦疅?/p> |
測(cè)量nk厚度要求1*： | 50nm | 測(cè)量精度2： | 0.02nm |
準(zhǔn)確度*：取較大者 | 1nm或0.2% | 穩(wěn)定性3： | 0.05nm |
樣品大小： | ≤直徑300毫米 | 速度（含有真空平臺(tái)）： | 5個(gè)點(diǎn)-8秒 25個(gè)點(diǎn)-21秒 56個(gè)點(diǎn)-43秒 |
光斑大小 | 標(biāo)準(zhǔn)500 微米孔徑 | 選配250 微米孔徑 | 選配100 微米孔徑 |
5X物鏡 | 100μm | 50μm | 20μm |
10X物鏡 | 50μm | 25μm | 10μm |
15X物鏡 | 33μm | 17μm | 7μm |
50X物鏡 | 10μm | 5μm | 2μm |
Filmetrics 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀測(cè)量圖：
