Filmetrics F20 單點光學膜厚測量儀

Filmetrics F20 白光干涉測厚儀介紹：

無論您是想要知道薄膜厚度、光學常數，還是想要知道材料的反射率和透過率，Filmetrics F20 單點光學膜厚測量儀都能滿足您的需要。僅需花費幾分鐘完成安裝，通過USB連接電腦，設備就可以在數秒內得到測量結果。基于模塊化設計的特點，Filmetrics F20 單點光學膜厚測量儀適用于各種應用。

Filmetrics F20 白光干涉測厚儀特點：

• 非接觸測量：避免損傷薄膜，適用于脆弱或敏感材料；

• 高精度與寬量程&：垂直分辨率達納米級，可測厚度范圍從1nm至3mm；

• 多場景適用性：基本上光滑的、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測量。

• 測量速度快：配置完成后，數秒內即可完成測量。

測量原理：

當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

膜層范例：

• 薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光學常數、均勻性、刻蝕量等

• 薄膜種類：透明及半透明薄膜，常見如氧化物、聚合物甚至空氣

• 薄膜狀態：固態、液態和氣態薄膜都可以測量

• 薄膜結構：單層膜、多層膜；平面、曲面

常見工業應用：

產品參數：

測量圖：